Gamma TSSemi 2000-400 - измерительный стенд для мощных полупроводниковых приборов — компания «МИР»

Gamma TSSemi 2000-400 - измерительный стенд для мощных полупроводниковых приборов

Gamma TSSemi 2000-400 - измерительный стенд для мощных полупроводниковых приборов
Тестер предназначен для функционального и параметрического контроля статических и динамических параметров мощных биполярных, MOSFET, GaN, IGBT транзисторов, а также диодов, диодных сборок в корпусе и на полупроводниковой пластине.

Измерение параметров микросхем в корпусе и на пластине.
Использование программно-аппаратных готовых решений с учетом ГОСТ и других нормативных документов.
Настройка тест-планов (задание последовательности и перечня тестов, задание режимов измерения для каждого теста, задание условий и норм разбраковки и сортировки).

Включен в ГосРеестр средств измерений - Регистрационный номер 91180-24

Обзор

Измерительный стенд Gamma TSSemi 2000-400 представляет собой программно-аппаратный комплекс для проведения функционального контроля, тестирования, измерения статических и динамических параметров мощных биполярных, MOSFET, GaN, IGBT транзисторов, а также диодов, диодных сборок в корпусе и на полупроводниковой пластине.
Конструктивно тестер выполнен в едином корпусе для удобства перемещения в зависимости от поставленной задачи (измерение микросхем в корпусе или на пластине).


Оборудование

  • Источник, измеритель напряжения и тока VCS60-400P 
  • Источник, измеритель напряжения и тока VCS60-400N
  • Источник, измеритель напряжения и тока VCS2000-04
  • Источник, измеритель напряжения и тока QVCS100-5 SMU
  • Комбинированный прибор (PG-FVCS)
  • Источник опорных напряжений (ASM) 
  • Осциллограф 
  • Адаптер калибровки и поверки;
  • Адаптер для измерения динамических и статических параметров диодов;
  • Адаптер для измерения статических параметров транзисторов;
  • Адаптер для измерения динамических параметров транзисторов

Измеряемые параметры:

Тестер может применяться для контроля параметров полупроводниковых приборов, как на стадии входного контроля, серийного производства и испытаний, так и на стадии разработки.

Список основных измеряемых параметров для некоторых полупроводниковых изделий приведен ниже.
  • Зависимость тока стока от напряжения на затворе
  • Начальный ток стока
  • Остаточный ток стока
  • Сопротивление сток-исток
  • Крутизна передаточной характеристики
  • Пороговое напряжение
  • Ток утечки затвора
  • Ток утечки стока
  • Пробивное напряжение сток-исток
  • Входная емкость
  • Выходная емкость
  • Проходная емкость
  • Эффективная выходная емкость, определяемая по энергии
  • Эффективная выходная емкость, определяемая по времени заряда
  • Общий заряд затвора
  • Заряд затвор-исток  
  • Пороговый заряд затвора  
  • Заряд затвора в режиме плато
  • Заряд затвор-сток  
  • Заряд сток – исток
  • Заряд обратного восстановления
  • Время обратного восстановления
  • Энергия обратного восстановления  
  • Максимальный ток обратного восстановления
  • Временная характеристика тока обратного восстановления
  • Энергия накопленная выходной емкостью
  • Временная характеристика рассеиваемой энергии
  • Временная характеристика переключения
  • Падение напряжения исток-сток при обратной проводимости
  • Максимальное падение напряжения сток-исток
  • Время задержки включения
  • Время задержки выключения
  • Время нарастания
  • Время спада
  • Время включения
  • Время выключения
  • Временная характеристика тока стока
  • Временная характеристика прямого напряжения
  • Временная характеристика тока затвора
  • Временная зависимость напряжения заряда затвора
  • Передаточные и выходные ВАХ
  • ВАХ затвора

Также возможно измерить другие параметры полупроводниковых приборов, если технические характеристики тестера удовлетворяют требованиям задания и измерения электрических режимов для измерения данного параметра с учетом требуемых погрешностей.

Тестер имеет модульную архитектуру и комплектуется под технические требования заказчика согласно техническому заданию на испытания и номенклатуру испытываемых изделий. В описании представлены ориентировочные типовые технические характеристики ранее реализуемых моделей тестеров. Данные технические параметры и список измеряемых параметров не являются финальным предложением и носят ознакомительный характер.

Программное обеспечение (ПО)

софт1.jpg

  Программное обеспечение (ПО) предназначено для управления измерительным процессом тестера. ПО позволяет создавать, редактировать и исполнять тестовые последовательности. ПО предоставляет возможность настройки режимов измерения для каждого теста, с возможностью изменения списка и порядка их выполнения.

софт2.jpg
ПО обеспечивает возможность выполнения следующих функций:
  • Контроль работоспособности тестера; 
  • Калибровка тестера; 
  • Метрологическая поверка тестера; 
  • Выбор тестовой программы;  
  • Отображение информации о выбранной тестовой программе;
  • Отображение результатов измерения в табличном виде;
  • Измерение в различных режимах: с последовательным прохождением тестов, с последовательным прохождением тестов до первого брака, прохождением тестов с остановкой на каждом браке и продолжением по команде оператора, пошаговым прохождение с остановкой на каждом тесте, циклическим прохождение тестов; 
  • Контроль параметров с измерением значения и разбраковки по принципу Годен/Брак; 
  • Классификация объекта измерения (ОИ) согласно результатам измерений по группам; 
  • Управление (пуск/стоп) сортировщиком и зондовой установкой (ЗУ), а также камерой тепла- холода (проходной камерой) и с другими периферийными устройствами; 
  • Построение ВАХ и вывод результатов измерения в виде графиков;
  • Формирование отчета в формате .CSV (совместим с MS Excel); 
  • Накопление результатов измерений в файл статистики;
  • Статистический анализ результатов измерений;
  • Реализация неограниченного количества тест-планов;
  • Создание и редактирование тест-планов; 
  • Добавление, редактирование, удаление, копирование или перемещение тестов в списке тест-плана; 
  • Работа редактора тест-планов в оффлайн режиме без наличия комплекса.

Программное обеспечение стенда состоит из двух блоков: ПО оператора и ПО редактора тест-планов. Установка имеет возможность самоконтроля, калибровки и поверки, при этом для каждой из перечисленных функций запускаются соответствующие программы. Программы «КАЛИБРОВКА» и «ПОВЕРКА» используют внешний высокоточный, поверенный, цифровой мультиметр (DMM), который в состав установки не входит. Во время прохождения программы «КАЛИБРОВКА» для всех диапазонов источников тока и напряжения, а также для всех диапазонов измерения напряжения и тока рассчитываются коэффициенты ГЕЙН и ОФСЕТ. Программа «САМОДИАГНОСТИКА» используется для быстрой оценки состояния устройств системы и проводится с применением внутренних измерителей (DMM не используется). При этом некоторые параметры таким методом не проверяются.


Основные технические характеристики TSSemi 2000-400


Источник и измеритель напряжения и тока с большим выходным током (VCS60-400P)

Диапазоны напряжения

+3 В, +10 В, +30 В, +60 В

Диапазоны тока (импульсный режим)

10 А, 100 А, 400 А

Максимальный выходной ток

400А при напряжении до 30В

100А при напряжении до 60В

Погрешность задания и измерения тока

0.5 % от значения + 0.4% от диапазона

Погрешность задания и измерения напряжения

0.1 % от диапазона

Частота выборки при измерении

1 МВыб/с

Максимальная длительность выходного импульса

500мкс

Минимальная длительность выходного импульса

50мкс




Источник и измеритель напряжения и тока с большим выходным током (VCS60-400N)

Диапазоны напряжения

-3 В, -10 В, -30 В, -60 В

Диапазоны тока

10 А, 100 А, 400 А

Максимальный выходной ток

400А при напряжении до -30В

100А при напряжении до -60В

Погрешность задания и измерения тока

0.5 % от значения + 0.4% от диапазона

Погрешность задания и измерения напряжения

0.1 % от диапазона

Частота выборки при измерении

1 МВыб/с

Максимальная длительность выходного импульса

500мкс

Минимальная длительность выходного импульса

50мкс



Высоковольтный источник и измеритель напряжения и тока (VCS2000-04)

Диапазоны напряжения

500 В, 1000 В, 2000 В, -500 В, -1000 В, -2000 В

Диапазоны тока

5 мкА, 50 мкА, 500 мкА, 5 мА, 40 мА

Погрешность задания и измерения тока

+/-0.5 % от значения или +/-0.5 % от диапазона

Погрешность задания и измерения напряжения

+/-0.5 % от значения или +/-0.5 % от диапазона

Частота выборки при измерении

1 МВыб/с



4х-канальный прецизионный источник и измеритель напряжения и тока (QVCS100-5)

Диапазоны напряжения

±1 В, ±5 В, ±10 В, ±20 В, ±100 В

Диапазоны тока

5 мкА, 50 мкА, 500 мкА, 5 мА, 50 мА, 500 мА,

5 А (импульсный режим)

Погрешность задания и измерения тока для диапазонов:

500мкА, 5мА, 50мА, 500мА, 5A

0.1 % от диапазона

Погрешность задания и измерения тока для диапазонов:

5мкА, 50мкА

0.6 % от диапазона

Погрешность задания и измерения напряжения

0.05 % от диапазона

Частота выборки при измерении

1 МВыб/с



Импульсный генератор и быстродействующий источник – измеритель (PG-FVCS)

Диапазон напряжения (режим ИГ)

50 Ом: ±5 В

Высокий импеданс (>10 кОм): ±10 В

Разрядность

14 бит

Время нарастания/падения (от 10% до 90%) (режим ИГ)

20 нс (типовое)

Длительность импульса (режим ИГ)

минимум 50 нс, в режиме ИГ при нагрузке 50 Ом

Период импульса (режим ИГ)

минимум 100 нс, в режиме ИГ при нагрузке 50 Ом

Выходной импеданс (режим ИГ)

50 Ом в режиме ИГ

Диапазон напряжения (быстрая ВАХ)

±10 В

Диапазоны задания и измерения тока (быстрая ВАХ)

10 мкА, 100 мкА, 1 мА, 10 мА, 100 мА

Погрешность задания и измерения напряжения (быстрая ВАХ)

0.2% установки + 0.2% диапазона

Погрешность задания и измерения тока (быстрая ВАХ)

0.2% установки + 0.2% диапазона

Частота выборки при измерении

100 МВыб/с

Диапазон напряжения (режим быстродействующий источник напряжения)

от -20 В до +10В, от -10 В до +20В

Время нарастания/падения (режим БИН) (от 10 % до 90 %)

200 нс (типовое)

Разрешение: 14 бит (режим БИН)

14 бит

Погрешность задания напряжения (режим БИН)

±(0.2 % установки + 0.2 % диапазона)



Источник опорных напряжений (ASM)

Количество независимых каналов

6

Диапазон напряжения

±3 В, ±10 В, ±12 В

Максимальный выходной ток

50 мА

Погрешность задания напряжения

±0.05 % от диапазона



Осциллограф

Четыре аналоговых входа 8 бит, 2 ГВыб/с, полоса 500 МГц, ±20 В макс.

Генератор

100 МВыб/с, 14 бит, макс. частота 10 МГц (синус), ±10 В макс.



Преимущества, особенности

  • Cокращение времени и затрат

    Значительное сокращение времени и затрат производственного процесса.

  • Использование готовых решений с учетом ГОСТ

    Возможность использования программно-аппаратных готовых решений для разных типов ПП с учетом ГОСТ и других нормативных документов.

  • Настройка тест-планов в графической среде

    Настройка тест-планов (задание последовательности и перечня тестов, задание режимов измерения для каждого теста, задание условий и норм разбраковки и сортировки) в графической среде, без применения специальных языков программирования.

  • Управление периферийными устройствами

    Возможность использования программно-аппаратных готовых решений для разных типов ПП с учетом ГОСТ и других нормативных документов.

  • Совместимость с SINUS.

    Совместимость с автоматизированной платформой тестирования SINUS.

  • Самостоятельная поверка, калибровка

    Наличие набора для метрологической поверки, калибровки и контроля работоспособности тестера.

  • Модульная архитектура

    Комплектуется под технические требования заказчика