Gamma TSSemi 2000-400 - измерительный стенд для мощных полупроводниковых приборов
Измерение параметров микросхем в корпусе и на пластине.
Использование программно-аппаратных готовых решений с учетом ГОСТ и других нормативных документов.
Настройка тест-планов (задание последовательности и перечня тестов, задание режимов измерения для каждого теста, задание условий и норм разбраковки и сортировки).
Включен в ГосРеестр средств измерений - Регистрационный номер 91180-24
Измеряемые параметры:
Список основных измеряемых параметров для некоторых полупроводниковых изделий приведен ниже.
- Зависимость тока стока от напряжения на затворе
- Начальный ток стока
- Остаточный ток стока
- Сопротивление сток-исток
- Крутизна передаточной характеристики
- Пороговое напряжение
- Ток утечки затвора
- Ток утечки стока
- Пробивное напряжение сток-исток
- Входная емкость
- Выходная емкость
- Проходная емкость
- Эффективная выходная емкость, определяемая по энергии
- Эффективная выходная емкость, определяемая по времени заряда
- Общий заряд затвора
- Заряд затвор-исток
- Пороговый заряд затвора
- Заряд затвора в режиме плато
- Заряд затвор-сток
- Заряд сток – исток
- Заряд обратного восстановления
- Время обратного восстановления
- Энергия обратного восстановления
- Максимальный ток обратного восстановления
- Временная характеристика тока обратного восстановления
- Энергия накопленная выходной емкостью
- Временная характеристика рассеиваемой энергии
- Временная характеристика переключения
- Падение напряжения исток-сток при обратной проводимости
- Максимальное падение напряжения сток-исток
- Время задержки включения
- Время задержки выключения
- Время нарастания
- Время спада
- Время включения
- Время выключения
- Временная характеристика тока стока
- Временная характеристика прямого напряжения
- Временная характеристика тока затвора
- Временная зависимость напряжения заряда затвора
- Передаточные и выходные ВАХ
- ВАХ затвора
Также возможно измерить другие параметры полупроводниковых приборов, если технические характеристики тестера удовлетворяют требованиям задания и измерения электрических режимов для измерения данного параметра с учетом требуемых погрешностей.
Тестер имеет модульную архитектуру и комплектуется под технические требования заказчика согласно техническому заданию на испытания и номенклатуру испытываемых изделий. В описании представлены ориентировочные типовые технические характеристики ранее реализуемых моделей тестеров. Данные технические параметры и список измеряемых параметров не являются финальным предложением и носят ознакомительный характер.
Программное обеспечение (ПО)
Программное обеспечение (ПО) предназначено для управления измерительным процессом тестера. ПО позволяет создавать, редактировать и исполнять тестовые последовательности. ПО предоставляет возможность настройки режимов измерения для каждого теста, с возможностью изменения списка и порядка их выполнения.
ПО обеспечивает возможность выполнения следующих функций:
- Контроль работоспособности тестера;
- Калибровка тестера;
- Метрологическая поверка тестера;
- Выбор тестовой программы;
- Отображение информации о выбранной тестовой программе;
- Отображение результатов измерения в табличном виде;
- Измерение в различных режимах: с последовательным прохождением тестов, с последовательным прохождением тестов до первого брака, прохождением тестов с остановкой на каждом браке и продолжением по команде оператора, пошаговым прохождение с остановкой на каждом тесте, циклическим прохождение тестов;
- Контроль параметров с измерением значения и разбраковки по принципу Годен/Брак;
- Классификация объекта измерения (ОИ) согласно результатам измерений по группам;
- Управление (пуск/стоп) сортировщиком и зондовой установкой (ЗУ), а также камерой тепла- холода (проходной камерой) и с другими периферийными устройствами;
- Построение ВАХ и вывод результатов измерения в виде графиков;
- Формирование отчета в формате .CSV (совместим с MS Excel);
- Накопление результатов измерений в файл статистики;
- Статистический анализ результатов измерений;
- Реализация неограниченного количества тест-планов;
- Создание и редактирование тест-планов;
- Добавление, редактирование, удаление, копирование или перемещение тестов в списке тест-плана;
- Работа редактора тест-планов в оффлайн режиме без наличия комплекса.
Программное обеспечение стенда состоит из двух блоков: ПО оператора и ПО редактора тест-планов. Установка имеет возможность самоконтроля, калибровки и поверки, при этом для каждой из перечисленных функций запускаются соответствующие программы. Программы «КАЛИБРОВКА» и «ПОВЕРКА» используют внешний высокоточный, поверенный, цифровой мультиметр (DMM), который в состав установки не входит. Во время прохождения программы «КАЛИБРОВКА» для всех диапазонов источников тока и напряжения, а также для всех диапазонов измерения напряжения и тока рассчитываются коэффициенты ГЕЙН и ОФСЕТ. Программа «САМОДИАГНОСТИКА» используется для быстрой оценки состояния устройств системы и проводится с применением внутренних измерителей (DMM не используется). При этом некоторые параметры таким методом не проверяются.
Основные технические характеристики TSSemi 2000-400
|
Источник и измеритель напряжения и тока с большим выходным током (VCS60-400P) |
|
|
Диапазоны напряжения |
+3 В, +10 В, +30 В, +60 В |
|
Диапазоны тока (импульсный режим) |
10 А, 100 А, 400 А |
|
Максимальный выходной ток |
400А при напряжении до 30В 100А при напряжении до 60В |
|
Погрешность задания и измерения тока |
0.5 % от значения + 0.4% от диапазона |
|
Погрешность задания и измерения напряжения |
0.1 % от диапазона |
|
Частота выборки при измерении |
1 МВыб/с |
|
Максимальная длительность выходного импульса |
500мкс |
|
Минимальная длительность выходного импульса |
50мкс |
|
Источник и измеритель напряжения и тока с большим выходным током (VCS60-400N) |
|
|
Диапазоны напряжения |
-3 В, -10 В, -30 В, -60 В |
|
Диапазоны тока |
10 А, 100 А, 400 А |
|
Максимальный выходной ток |
400А при напряжении до -30В 100А при напряжении до -60В |
|
Погрешность задания и измерения тока |
0.5 % от значения + 0.4% от диапазона |
|
Погрешность задания и измерения напряжения |
0.1 % от диапазона |
|
Частота выборки при измерении |
1 МВыб/с |
|
Максимальная длительность выходного импульса |
500мкс |
|
Минимальная длительность выходного импульса |
50мкс |
|
Высоковольтный источник и измеритель напряжения и тока (VCS2000-04) |
|
|
Диапазоны напряжения |
500 В, 1000 В, 2000 В, -500 В, -1000 В, -2000 В |
|
Диапазоны тока |
5 мкА, 50 мкА, 500 мкА, 5 мА, 40 мА |
|
Погрешность задания и измерения тока |
+/-0.5 % от значения или +/-0.5 % от диапазона |
|
Погрешность задания и измерения напряжения |
+/-0.5 % от значения или +/-0.5 % от диапазона |
|
Частота выборки при измерении |
1 МВыб/с |
|
4х-канальный прецизионный источник и измеритель напряжения и тока (QVCS100-5) |
|
|
Диапазоны напряжения |
±1 В, ±5 В, ±10 В, ±20 В, ±100 В |
|
Диапазоны тока |
5 мкА, 50 мкА, 500 мкА, 5 мА, 50 мА, 500 мА, 5 А (импульсный режим) |
|
Погрешность задания и измерения тока для диапазонов: 500мкА, 5мА, 50мА, 500мА, 5A |
0.1 % от диапазона |
|
Погрешность задания и измерения тока для диапазонов: 5мкА, 50мкА |
0.6 % от диапазона |
|
Погрешность задания и измерения напряжения |
0.05 % от диапазона |
|
Частота выборки при измерении |
1 МВыб/с |
|
Импульсный генератор и быстродействующий источник – измеритель (PG-FVCS) |
|
|
Диапазон напряжения (режим ИГ) |
50 Ом: ±5 В Высокий импеданс (>10 кОм): ±10 В |
|
Разрядность |
14 бит |
|
Время нарастания/падения (от 10% до 90%) (режим ИГ) |
20 нс (типовое) |
|
Длительность импульса (режим ИГ) |
минимум 50 нс, в режиме ИГ при нагрузке 50 Ом |
|
Период импульса (режим ИГ) |
минимум 100 нс, в режиме ИГ при нагрузке 50 Ом |
|
Выходной импеданс (режим ИГ) |
50 Ом в режиме ИГ |
|
Диапазон напряжения (быстрая ВАХ) |
±10 В |
|
Диапазоны задания и измерения тока (быстрая ВАХ) |
10 мкА, 100 мкА, 1 мА, 10 мА, 100 мА |
|
Погрешность задания и измерения напряжения (быстрая ВАХ) |
0.2% установки + 0.2% диапазона |
|
Погрешность задания и измерения тока (быстрая ВАХ) |
0.2% установки + 0.2% диапазона |
|
Частота выборки при измерении |
100 МВыб/с |
|
Диапазон напряжения (режим быстродействующий источник напряжения) |
от -20 В до +10В, от -10 В до +20В |
|
Время нарастания/падения (режим БИН) (от 10 % до 90 %) |
200 нс (типовое) |
|
Разрешение: 14 бит (режим БИН) |
14 бит |
|
Погрешность задания напряжения (режим БИН) |
±(0.2 % установки + 0.2 % диапазона) |
|
Источник опорных напряжений (ASM) |
|
|
Количество независимых каналов |
6 |
|
Диапазон напряжения |
±3 В, ±10 В, ±12 В |
|
Максимальный выходной ток |
50 мА |
|
Погрешность задания напряжения |
±0.05 % от диапазона |
|
Осциллограф |
|
Четыре аналоговых входа 8 бит, 2 ГВыб/с, полоса 500 МГц, ±20 В макс. |
|
Генератор |
|
100 МВыб/с, 14 бит, макс. частота 10 МГц (синус), ±10 В макс. |
Преимущества, особенности
-
Cокращение времени и затрат
Значительное сокращение времени и затрат производственного процесса.
-
Использование готовых решений с учетом ГОСТ
Возможность использования программно-аппаратных готовых решений для разных типов ПП с учетом ГОСТ и других нормативных документов.
-
Настройка тест-планов в графической среде
Настройка тест-планов (задание последовательности и перечня тестов, задание режимов измерения для каждого теста, задание условий и норм разбраковки и сортировки) в графической среде, без применения специальных языков программирования.
-
Управление периферийными устройствами
Возможность использования программно-аппаратных готовых решений для разных типов ПП с учетом ГОСТ и других нормативных документов.
-
Совместимость с SINUS.
Совместимость с автоматизированной платформой тестирования SINUS.
-
Самостоятельная поверка, калибровка
Наличие набора для метрологической поверки, калибровки и контроля работоспособности тестера.
-
Модульная архитектура
Комплектуется под технические требования заказчика
